潔凈室是指去除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，并控制室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲和振動、照明和靜電. 在一定的需求范圍內(nèi)專門設(shè)計的房間。也就是說，無論外部空氣狀況如何變化，內(nèi)部都可以保持原先設(shè)定的清潔度、溫度、濕度和壓力等特性。

　　潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響，

　　粒徑小于0.3微米的顆粒數(shù)量控制在每立方米3500個以下，達到國際無塵標準A級。目前芯片級生產(chǎn)加工采用的無塵標準對粉塵的要求比A級要高，這樣高的標準主要用在一些更高級別芯片的生產(chǎn)上。0.5uM及以下的粉塵顆粒數(shù)嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，業(yè)內(nèi)俗稱1K級。

　　無塵室狀態(tài)分為以下三種

　　空置狀態(tài)：已建成并可供使用的潔凈室(設(shè)施)。它具有所有相關(guān)的服務(wù)和功能。但是，設(shè)施內(nèi)沒有操作員操作的設(shè)備。

　　靜態(tài)：功能齊全、設(shè)置正確、安裝合理、可按設(shè)置使用或在用的潔凈室(設(shè)施)，但設(shè)施內(nèi)無操作人員。

　　動態(tài)：在正常使用的潔凈室內(nèi)，服務(wù)功能齊全，配備設(shè)備和人員;如果需要，可以進行正常工作。

　　潔凈室檢測潔凈室原理

　　單向流(層流)潔凈室原理

　　無塵室內(nèi)，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，途中氣流的橫截面幾乎沒有變化。除了進風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓作用外，整個房間橫截面上的流量比較均勻。，并且至少在工作區(qū)，流線是單向平行的，沒有渦流。這是單向流潔凈室的三大特點。這里的流線是單向平行的，這意味著時間平均的流線彼此平行并且具有單一方向。

　　單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當?shù)模瑖獾囊恍藴屎臀恼乱仓赋隽诉@一點。例如，英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞，并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當時使用的成語中，“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年，我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。

　　在單向流潔凈室中，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充滿整個房間截面，所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用，而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排到室外，達到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此，前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”，前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞，沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動，使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回，

　　在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中，逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部，然后向下傳送，破壞上述“塞流”狀態(tài)，危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設(shè)備，如潔凈工作臺，這種氣流會導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計中，必須減少濾框占用的無效面積，減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風(fēng)截面。

　　通過以上分析可以認為，保證單向流潔凈室的特性(高潔凈度和快速自潔恢復(fù)能力)有兩個重要前提：①進流潔凈度;② 來流的活塞流;

　　對于進流的潔凈度，通過高效過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室不是問題，但是對于進流的“塞流”情況，還需要進一步分析。

　　根據(jù)流體力學(xué)原理，來流條件將對未來的流動條件產(chǎn)生直接而重要的影響。

　　如果來流湍流較大，會影響單向流特性;如果來流沒有充滿流段，會影響“塞流”能否形成，影響形成速度;流動性的一個因素。因此，在使用高效過濾器的條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“塞流”，而“塞流”的必要條件是來流充滿流段。然而，氣流從開始到結(jié)束完全充滿房間的流動部分而不是管道的一部分也是不切實際的。

　　最初，人們認為這種單向、平行的氣流應(yīng)該充滿整個潔凈室，但這在技術(shù)和經(jīng)濟上都是不利的。隨著知識的發(fā)展，人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動”，相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過整個空間的潔凈空氣的單向流動特性為主的房間也稱為單向流動潔凈室。也就是說，不需要在整個房間內(nèi)有單向平行流線、勻速、無渦流，而只需要單向平行流特性來支配房間，例如 整個工作區(qū)水平空間保證單向流動，本房間為單向流動潔凈室。前面介紹的國內(nèi)外相關(guān)標準和措施中單向流潔凈室所達到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達到的潔凈度。因此，密集布置的流線型擴壓器頂部進料和全孔板頂部進料也被用作實現(xiàn)垂直單向流動的手段。